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產品特性：
■ 電磁直接轉換直線運動濾少傳動附
■ 高速直線運動無離心力
■ 加速度可達10G/動態響應快
■ 摩擦力小/應力形變小 可實現高精度微動進給
用途事例：
■ 光電子/半導體設備應用
■ 高速高精分揀送料裝置應用
■ 高速高分辨率打印掃描應用
■ 高端數控機床應用
驅動命名：
功能概述：
R7系列 機器人專用伺服
T7系列 刀庫 刀塔專用伺服
M21s 自動化應用
X7系列 液電功率型伺服
